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Jenoptik-Tochter baut ihre Lieferbeziehung zu ASML deutlich aus und erhält Auftrag über fünf Jahre

JENOPTIK Laser, Optik, Systeme GmbH ist Lieferant von Spezial-Komponenten für Wafer-Stepper.

Die JENOPTIK Laser, Optik, Systeme GmbH hat mit ASML eine langfristige Rahmenvereinbarung über die Lieferung von Binärer Optik geschlossen. ASML ist ein weltweit führender Hersteller lithographischer Systeme (Wafer-Stepper und Step & Scan Systeme) für die Halbleiterindustrie. Die JENOPTIK Laser, Optik, Systeme GmbH, Führungsunternehmen des Jenoptik- Unternehmensbereichs Photonics Technologies, wird über einen Zeitraum von mindestens fünf Jahren spezielle binäre optische Bauelemente für ASML Wafer-Stepper liefern.

Binäre optische Bauelemente sichern exakte Chipstrukturen.

Die verkleinerte Abbildung der Chipstrukturen von Photomasken auf Siliziumscheiben (Wafer) ist im Herstellungsprozess von Halbleiter-Bauelementen mehrfach erforderlich. Diese Belichtung der Wafer erfolgt in lithographischen Systemen. Die binären optischen Bauelemente werden für die exakte Positionierung der Wafer im Bildfeld des lithographischen Systems, die Kontrolle und Korrektur der Abbildungseigenschaften der Projektionsoptik benötigt. Mit Hilfe der binären optischen Komponenten können genau übereinander liegende Funktionsschichten auf Chips erzeugt werden. ASML und Jenoptik haben eine langfristige Zusammenarbeit vereinbart, da mit der zugrunde liegenden Technologie auch zukünftige Chip- Generationen zuverlässig gefertigt werden können.

Mit der Vereinbarung erweitern Jenoptik und ASML ihre erfolgreichen Geschäftsbeziehungen, die bereits seit 1992 bestehen. Jenoptik liefert beispielsweise optische Baugruppen für die Wafer-Positionskontrolle und für die Laser-Strahlführung an ASML.