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Jenoptik-Tochter baut die WACKER SILTRONIC Fab 300-2 im sächsischen Freiberg

Auftragsvolumen von zunächst rund 125 Mio. Euro, weitere Optionen in zweistelliger Millionenhöhe.

Die Jenoptik-Tochter M+W Zander baut die 300-Millimeter-Wafer-Fabrik für WACKER SILTRONIC in Freiberg in Sachsen. Der Auftrag des WACKER-Konzerns hat ein Volumen von insgesamt rund 125 Mio. Euro. Darüber hinaus beinhaltet der Vertrag die Option für die zweite Ausbaustufe der Wafer-Fabrik und für das Aufstellen und den Anschluss (Hook up) der Produktionsgeräte. Zudem gibt es eine Option für M+W Zander zum Bau einer Kristallziehfabrik für Wacker in Freiberg. Diese Optionen haben zusammen einen Wert in zweistelliger Millionenhöhe.

Baustart für eine der weltweit modernsten Wafer-Fertigungsstätten ist der 20. Januar 2003. Der erste Teilbereich der Wafer-Fabrik soll am 17. November 2003 fertiggestellt sein, die Auslieferung der Wafer soll im Juni 2004 beginnen. Die Jenoptik-Tochter aus dem Unternehmensbereich Clean Systems Technologies übernimmt sämtliche Arbeiten zur Fertigstellung der Wafer-Fabrik und hat auch das Design und die Planungen der neuen WACKER SILTRONIC Fabrikationsstätte in Freiberg übertragen bekommen.

In der WACKER SILTRONIC Fab 300-2 in Freiberg werden ab Juni 2004 300-Millimeter-Wafer produziert, die ein bedeutender Technologiesprung für die Halbleiterindustrie sind. So können aus den auch als Large Wafer bezeichneten 300-Millimeter-Scheiben mehr Chips pro Wafer hergestellt werden. Die Siliziumscheiben dieser Größe und Leistungsfähigkeit müssen zu einem sehr viel höheren Grade als die Vorgängergeneration (200-Millimeter-Wafer) rein und eben und darüber hinaus von herausragender kristallinen Qualität sein. Entsprechend anspruchsvoll sind die Anforderungen an die Produktionsstätte und an die technische Ausrüstung der Wafer-Fabrik. Die Produktion der neuen 300-Millimeter-Wafer benötigt eine hochreine Umgebung und aufgrund der Größe und des Gewichts der Siliziumscheiben einen wesentlich höheren Grad an Prozessautomatisierung.