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Jenoptik verkauft Lasertechnologie TLS-Dicing® an 3D-Micromac AG

Die Jenoptik-Sparte Laser & Materialbearbeitung veräußert die Technologie zum Thermischen Laserstrahlseparieren. Eingesetzt wird sie unter anderem zum Vereinzeln von Mikrochips in der Halbleiterfertigung.

Zum 1. Januar 2014 hat die Jenoptik-Sparte Laser & Materialbearbeitung Patente, Know-how und Entwicklungsergebnisse im Bereich Thermisches Laserseparieren (TLS-Dicing®) an das Unternehmen 3D-Micromac AG übertragen. Über den Kaufpreis wurde Stillschweigen vereinbart. Durch den Transfer ergänzt das Chemnitzer Unternehmen sein Portfolio für Laseranlagen in der Halbleitertechnik und ermöglicht eine unmittelbare Vermarktung dieser Lasertechnologie. Die Jenoptik-Sparte Laser & Materialbearbeitung fokussiert sich in Zukunft weiter auf die 3D-Bearbeitung von Kunststoffen und Metallen, beispielsweise in der Automobilindustrie.

Mit dem TLS-Dicing® können spröde Materialien in hoher Qualität, ohne Materialverlust und mit hoher Geschwindigkeit getrennt werden. Einsatz findet das Verfahren zum Beispiel beim Vereinzeln von Bauelementen aus Halbleiter-Wafern. Das Material wird mittels Laser lokal erwärmt und anschließend durch einen Kühlwasserstrahl schnell abgekühlt. Dabei treten starke Spannungen im Material auf, die einen definierten Riss entlang der Bewegungsrichtung des Laserstrahls erzeugen.

Im Vergleich zu herkömmlichen Vereinzelungstechnologien zeichnet sich das TLS-Dicing® durch saubere, mikrorissfreie Kanten und daraus resultierend eine höhere Biegefestigkeit aus. Prozessgeschwindigkeiten von 200 bis 300 mm/s sind möglich und führen in der Regel zu einer Vervielfachung des Durchsatzes bei reduzierten Kosten.

Über Jenoptik und die Sparte Laser & Materialbearbeitung

Als integrierter Optoelektronik-Konzern ist Jenoptik in den fünf Sparten Laser & Materialbearbeitung, Optische Systeme, Industrielle Messtechnik, Verkehrssicherheit sowie Verteidigung & Zivile Systeme aktiv.

Jenoptik zählt mit der Sparte Laser & Materialbearbeitung zu den führenden Anbietern von Lasertechnologie und bietet Produkte und Lösungen entlang der kompletten Wertschöpfungskette der Lasermaterialbearbeitung – von der Komponente bis zur kompletten Laseranlage. Im Bereich Laser hat sich das Unternehmen auf qualitativ hochwertige Halbleiterlaser, zuverlässige Diodenlaser als Module und -systeme sowie innovative Festkörperlaser wie zum Beispiel Scheiben- und Faserlaser spezialisiert. Mit diesem Produktportfolio ist Jenoptik der ideale Partner für den gesamten Pulsbreiten-Bereich von cw bis fs. Bei den Hochleistungsdiodenlasern ist das Unternehmen weltweit anerkannter Qualitätsführer.

Im Bereich Laseranlagen entwickelt und fertigt Jenoptik Lasermaschinen, die im Zuge der Prozessoptimierung und Automatisierung in Fertigungslinien der Kunden integriert werden. Diese dienen der Bearbeitung von Kunststoffen und Metallen sowie Glas in Verbindung mit der Prozessierung dünner Schichten. Dabei ermöglichen die Laseranlagen der Jenoptik die Bearbeitung mit höchster Effizienz, Präzision und Prozesssicherheit. Abgerundet wird das Produktportfolio durch energieeffiziente und umweltfreundliche Abluftreinigungsanlagen für die rückstandsfreie Beseitigung von Schadstoffen, welche in der Laserbearbeitung und anderen industriellen Prozessen entstehen.

Über die 3D-Micromac AG

Die 3D-Micromac AG hat sich seit der Gründung im Jahr 2002 zu einem der führenden Anbieter von hocheffizienten Lasermikrobearbeitungssystemen sowie innovativen Beschichtungs- und Drucktechnologien am internationalen Markt etabliert. Ob als Stand-Alone-System oder als komplette Fertigungslinien – die Anlagen der 3D-Micromac kommen beispielsweise in der Medizintechnik, der Halbleiterfertigung, in der Photovoltaik-Industrie oder auch bei der Herstellung von flexiblen Elektronikkomponenten zum Einsatz. Zudem steht die 3D-Micromac Ihren Kunden als kompetenter Partner für die Entwicklung neuer Technologien und Prozesse oder kundenspezifischer Systeme zur Verfügung.