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AR-Beschichtung für verschiedenste optische Komponenten

Die effektiven AR-Beschichtungen von Jenoptik entspiegeln optische Komponenten perfekt und minimieren so Reflektionsverluste.

Antireflex-Beschichtung Jenodur 309
Für optische Bauteile wie Fenster, Linsen und Prismen benötigen Sie eine zuverlässige AR-Beschichtung. Diese verhindert, dass Licht reflektiert wird und erhöht die Transmission. Dadurch erzielen Sie hochpräzise Ergebnisse. Die Antireflex-Schichten von Jenoptik eignen sich für optische Komponenten im Spektralbereich von DUV bis IR. Ihr Design können wir an die genauen Anforderungen unserer Kunden anpassen. Bei Bedarf liefern wir Ihnen ausführliche Reinigungs- und Handlings-Empfehlungen mit.

Sie haben die Wahl zwischen multispektralen Antireflex-Beschichtungen, Breitband- und Schmalband-Beschichtungen oder einer AR-Einfachschicht. Unsere Experten beraten Sie gerne und fertigen bei Bedarf kundenspezifische AR-Beschichtungen an.


Vorteile

  • Leistungsstark: Entspiegelt besonders effizient.
  • Beständig: Bestimmte AR sind äußerst stabil (z.B. DLC) und halten auch extremen Umwelteinflüssen stand.
  • Langlebig: AR fürs DUV weisen bei definierten Einsatzbedingungen eine sehr hohe Lebensdauer auf.
  • Vielseitig einsetzbar: Eignet sich für verschiedene optische Bauteile wie Fenster, Linsen oder Prismen.

Anwendungsgebiete

  • Halbleiterindustrie: AR-Beschichtung für DUV-Laser.

Fallbeispiel: Antireflex-Beschichtungen für DUV-Laser

Beispielgrafik für eine Antireflex-DUV-Beschichtung Jenodur 201

Antireflex-Beschichtungen für DUV-Laser

Die Aufgabe:

Für Fenster, Linsen, Prismen und andere optische Bauelemente im Strahlengang von DUV-Lasern werden effiziente und haltbare Vergütungsschichten benötigt. Deren Fertigung schließt geeignete Verfahren für die Politur und Reinigung der Wirkflächen sowie Handling und Verpackung mit ein.

Die Lösung:

• Für die Wellenlängen 266 nm, 248 nm und 193 nm werden Bauelemente mit Antireflex-Beschichtung in Serie gefertigt.
• Es werden breitbandige AR-Beschichtungen und Beschichtungen für Einfallwinkel bis zu 75° gefertigt.
• Die Reflektivität einer Vergütungsschicht für 248 nm oder 193 nm ist kleiner als 0,2 % (i = 0°).
• Die Laserzerstörungsschwelle für 248 nm liegt oberhalb von 2,5 J/cm² (1-on-1, 25 ns Pulslänge).

Die Beschichtungen JENODUR 201 und JENODUR 203 sind als Standardbeschichtungen verfügbar.

Haben Sie Fragen? Unsere Experten helfen Ihnen gern!

Optik & Optische Systeme

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