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AR-Beschichtung für verschiedenste optische Komponenten
Die effektiven AR-Beschichtungen von Jenoptik entspiegeln optische Komponenten perfekt und minimieren so Reflektionsverluste.

Sie haben die Wahl zwischen multispektralen Antireflex-Beschichtungen, Breitband- und Schmalband-Beschichtungen oder einer AR-Einfachschicht. Unsere Experten beraten Sie gerne und fertigen bei Bedarf kundenspezifische AR-Beschichtungen an.
Vorteile
- Leistungsstark: Entspiegelt besonders effizient.
- Beständig: Bestimmte AR sind äußerst stabil (z.B. DLC) und halten auch extremen Umwelteinflüssen stand.
- Langlebig: AR fürs DUV weisen bei definierten Einsatzbedingungen eine sehr hohe Lebensdauer auf.
- Vielseitig einsetzbar: Eignet sich für verschiedene optische Bauteile wie Fenster, Linsen oder Prismen.
Anwendungsgebiete
- Halbleiterindustrie: AR-Beschichtung für DUV-Laser.
Fallbeispiel: Antireflex-Beschichtungen für DUV-Laser

Antireflex-Beschichtungen für DUV-Laser
Die Aufgabe:Für Fenster, Linsen, Prismen und andere optische Bauelemente im Strahlengang von DUV-Lasern werden effiziente und haltbare Vergütungsschichten benötigt. Deren Fertigung schließt geeignete Verfahren für die Politur und Reinigung der Wirkflächen sowie Handling und Verpackung mit ein.
Die Lösung:
• Für die Wellenlängen 266 nm, 248 nm und 193 nm werden Bauelemente mit Antireflex-Beschichtung in Serie gefertigt.
• Es werden breitbandige AR-Beschichtungen und Beschichtungen für Einfallwinkel bis zu 75° gefertigt.
• Die Reflektivität einer Vergütungsschicht für 248 nm oder 193 nm ist kleiner als 0,2 % (i = 0°).
• Die Laserzerstörungsschwelle für 248 nm liegt oberhalb von 2,5 J/cm² (1-on-1, 25 ns Pulslänge).
Die Beschichtungen JENODUR 201 und JENODUR 203 sind als Standardbeschichtungen verfügbar.
Produktempfehlungen
Komponenten
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Optik & Optische Systeme
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