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UFO Probe® Card für PIC-Tests

Einsatz der UFO Probe® Card für zum Testen von photonisch integrierten Schaltkreisen (PICs) – die Chips der Zukunft.

Photonische integrierte Schaltkreise nutzen Licht anstelle von Elektrizität für die Datenübertragung und -verarbeitung. PICs werden in einer Vielzahl von Designs auf Wafern mit klassischen Lithografietechniken und bestehenden Anlagen etablierter Halbleiterhersteller produziert. Das Testen der Wafer stellt jedoch eine besondere Herausforderung dar. Aufgrund der zusätzlich zu prüfenden optischen Komponenten sind die Testdurchsätze noch nicht so hoch wie bei etablierten IC-Funktionstests. Auch müssen die Test-Geräte für die Qualifizierung der optischer Funktionalitäten erst noch beschafft und integriert werden. Zudem erfordern existierende Lösungen für jeden Chip eine komplexe Neuausrichtung der optischen Schnittstellen der Testgeräte im Submikronbereich.

Die Welt beschleunigen

Dank Photonisch Integrierter Schaltungkreise (PICs) wird Optik zum Schlüssel für schnelle und wachsende Datenkommunikation. Die UFO Probe®-Technologie für PIC-Wafer-Level-Tests setzt neue Maßstäbe und verbindet die Gegenwart mit der Zukunft.
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Mit der UFO Probe®-Technologie sind Sie immer einen Schritt voraus

Die Prüfung optischer und elektrischer Funktionalitäten ist ein entscheidender Faktor in der Waferproduktion. In der Großserienproduktion ist es wichtig, sowohl die Test- als auch die Rüstzeiten gering zu halten, um wirtschaftlich zu bleiben. Hier bietet die UFO Probe®-Technologie die richtige Lösung, denn sie ermöglicht es, parallel elektrische und optische Komponenten jedes Chips zu testen und so Zeit zu sparen. Sie basiert auf einem Konzept zur optischen Abtastung von photonischen integrierten Schaltkreisen, das unempfindlich gegenüber den Ausrichtungstoleranzen des Waferprobers ist. Die Jenoptik Probe Card kann daher in handelsüblichen Waferprobern betrieben werden und ist zeigt sich auch bei hohen Durchsatz leistungsstark und zuverlässig.

Integrierte Lösung - ausgelegt für die Großserienproduktion

Die UFO Probe® Card ermöglicht das gleichzeitige elektrische und optische Testen von Chips auf Wafern mit einer einzigen Probe Card. Sie kann in die bestehende Testinfrastruktur für etablierte elektrische Funktionstests integriert werden - teure Investitionen in Stand-alone-Lösungen entfallen damit.
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Neue Jenoptik UFO-Probe® Vertikal

detaillierte ansicht ufo probe card vertical

Wie die Cantilever-Version ermöglicht auch die UFO Probe® Vertical parallele Funktionstests von optischen und elektrischen Komponenten auf Chips mit der vertikalen Nadeltechnik von MPI. Der Anwender kann damit standardmäßig bis zu 32 optische Kanäle parallel koppeln - bei Bedarf auch mehr - ohne aktives Alignment.

Opto-elektronische Tests mit hohem Durchsatz:

  • Deckt den Wellenlängenbereich von 1260 bis 1625 nm ab, der im Telekommunikations- und Datacom-Sektor verwendet wird
  • Ermöglicht Polarisationerhaltung für einzelne oder alle optischen Kanäle
  • Prüfung von Bondpads, Solder bumps oder copper pillars möglich
  • Kontaktierung von bis zu 10.000 Bondpads mit Größen von bis zu 35µm
  • Kleinster adressierbarer Abstand der elektrischen Kontakte: 40 bis 80 µm
  • Vertikale Prüfspitzen mit niedrigerem und gleichmäßigerem Kontaktwiderstand von 0,2 bis 1,0 Ohm, je nach Prüfspitzentyp, bei gleichzeitiger Minimierung der Prüfspuren.
  • Gewährleistet einen wirtschaftlichen Einsatz in hochvolumigen Testszenarien und ATE-Betriebsfähigkeit.

Alle Vorteile der Probe Card Technologie auf einen Blick

Fortschritt

Einen Schritt voraus sein: Die innovative 2-in-1-Testlösung erweitert das PIC-Ökosystem und ermöglicht die Großserienproduktion von Hochleistungs-Chips.

Innovation

Zum ersten Mal: Kombiniert optisches sowie elektrisches Prüfmodul in nur einer Probe Card - zur zeitsparenden Qualifizierung ohne aufwendiges aktives Ausrichten.

Qualität

Identifizierung Known-Good-Dies: Erhalten Sie vollständige Informationen über die Funktionstüchtigkeit von PICs in der frühen Phase der Waferproduktion, um die Kosten in den folgenden Produktionsschritten zu senken.

Integration

Nutze, was vorhanden ist: Die UFO Probe®Card funktioniert auf vorhandenen Standard-IC-Waferprobern oder IC-Testgeräten.

Effizienz

Reduzierte Testzeit: Der Ausrichtungsschritt ist nur einmal pro Wafer erforderlich, nicht einmal pro PIC.

Flexibilität

Eine Plattform - viele Möglichkeiten: Die UFO-Probe® ist für viele Anwendungen geeignet und kann individuell an Ihre Bedürfnisse angepasst werden.

Ermöglichung optischer Datenkommunikation

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Probecard-Anwendungen von heute und morgen

Die derzeitige UFO Probe® Technologie ist speziell für Wafer-Tests von photonisch integrierten Schaltkreisen (PICs) insbesondere für optische Transceiver ausgelegt. Weitere Anwendungsgebiete sind: LEDs/ MicroLEDs, VCSEL, Photodioden, MEMS-Spiegel und PCM-Strukturen.

Einfache Integration in die bestehende Infrastruktur

Unabhängig davon, ob Sie eine Cantilever- oder eine vertikale Version der UFO Probe® Card verwenden, ist sie für den Betrieb auf Standard-IC-Probern und automatisierten Testgeräten vorgesehen. Damit bietet Jenoptik eine Plug-and-Play-Lösung für PIC-Wafer-Level-Tests. Je nach Anforderung können Standardschnittstellen zu Waferprobern einfach in das Design der Probe Cards implementiert werden. Die Bedienung dieser neuartigen Probe Cards ist ähnlich wie die der elektrischen Probe Cards, so dass das vorhandene Personal nicht extra geschult werden muss.

Kombination aus neuartigem optischen Konzept und bewährter Nadeltechnologie

  • Monolithisches optisches Modul
  • Aurichtungsunempfindliche optische Kopplung für vertikal emittierende PICs
  • Gleichzeitige optische und elektrische Abtastung
  • Optisches Konzept gleicht Prober-Ausrichtungstoleranzen aus
  • Verwendung bewährter Nadeltechnologie (Partnerschaft mit Testkartenherstellern)
  • Standardschnittstelle zum Wafer-Sampler kann implementiert werden

Technische Details der opto-elektronischen UFO Probe® Card

SpezifikationenAktuelle GenerationNächste Generationen

Zu prüfendes Bauteil
(Device under test / DUT)

Elektronische und photonische integrierte Schaltung (EPIC); Optische Transceiver für Datenübertragungs- und Telekommunikationsanwendungen

EPIC für Transceiver, Photodioden,
Biosensoren und Solid State LIDAR

Elektrische Nadeltechnologie

Cantilever und Vertical

Cantilever, Vertical / Advanced

Optisches Kopplungsprinzip DUT

Vertikale Kopplung

Vertikale Kopplung

Anzahl der optischen Eingänge/ Ausgänge (OI/OO)

Bis zu 32 oder mehr

<200

Pitch OI/OO

127µm, 250µm, flexibel für >250µm

flexibel

Layout Konfiguration von OI/OO -Arrays

Lineare Anordnung mit gleicher Richtung der Ein-/Ausgängen

Frei konfigurierbar

Kopplungswinkel

0° und 11.6° Standard, bis zu 20° nach Kundenwunsch

0° - 20°

Unterstützte Wellenlänge

1260 - 1625 nm (O/ L-band)

VIS bis NIR (U-Band)

Messung der Einfügedämpfung

Wiederholgenauigkeit: ~ 0.3 dB

Wiederholgenauigkeit Ziel: 0.1dB

RF-Messung

Bis zu 110 GHz, je nach Nadeltechnologie

GHz

Schnittstellen

Europakartenformat; ATE*

Europakartenformat,
ATE Schnittstelle

*currently without automatic optical docking

Maßgeschneiderte UFO Probe® Card für Ihren Erfolg

Basierend auf der UFO Probe®-Technologie entwickeln wir für Sie eine kundenpsezifische opto-elektronische Probe Card, die den komplexen Anforderungen Ihrer Anwendung gerecht wird. Angefangen bei den gewünschten Schnittstellen, der Nadeltechnologie, der geforderten Wellenlänge u.a.: die UFO Probe wird immer auf das jeweilige Wafer-Layout zugeschnitten. Weitere Details finden Sie in den Spezifikationen.
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Ihr Partner für PIC-Tests

Jenoptik verfügt über profunde Expertise und Know-how in der Mikrooptik und Optik und ist seit vielen Jahren ein kompetenter und wertvoller Partner der Halbleiterindustrie. Wir kennen und verstehen die Herausforderungen unserer Kunden und kombinieren diese mit unserer technischen Erfahrung und unserem Wissen, um innovative Lösungen zu schaffen, wie z.B. die UFO Probe®Card. Die dafür notwendigen Kompetenzen und die kontinuierliche Weiterentwicklung von Technologien ist nur ein Aspekt, den wir mit einem Ziel verfolgen: Sie weiterzubringen.

High-Performance von A bis Z - unsere Kompetenzen:

  • Konstruktion: Optisches Modul und allgemeine elektrische und optische probe cards
  • Fertigung und Supply Chain Management
  • Mikromontage und Alignment von optischen und elektrischen Modulen
  • Optischer Test und Verifikation im Labor: kundenspezifischer Prüfstand
  • Test unter Fertigungsbedingungen: Accretech UF3000 Prober

Sehen Sie sich das UFO Probe® Vertikal genauer an

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Haben Sie Fragen? Unsere Experten helfen Ihnen gern!

Enrico Piechotka

Key Account Manager

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Ausgezeichnet! Innovationspreis Thüringen 2022 für UFO Probe® Card

Jenoptik wurde am 30. November 2022 in Weimar, Thüringen für die neuartige opto-elektronische Prüfkarte zum Testen von PIC-Wafern mit dem Innovationspreis Thüringen 2022 in der Kategorie "Industrie & Material" ausgezeichnet. Nicht ganz 100 Bewerbungen sind in diesem Jahr beim STIFT Thüringen eingegangen. Jenoptik überzeugte die Fachjury mit seinem durchdachten Lösungsansatz für den steigenden Bedarf an photonischen Technologien in der Elektronik- und Halbleiterindustrie.