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UFO Probe® Card – neuartige Prüfkarte für PIC-Wafer-Tests

Photonisch integrierte Schaltkreise (PICs) sind die Chips der Zukunft. Für die Daten- bzw. Signalverarbeitung nutzt die Integrierte Photonik Licht anstelle von Elektrizität.

Die UFO Probe® Card ist das Werkzeug, um simultan die optischen und elektronischen Funktionalitäten der PICs zu prüfen. Basis für die Jenoptik-Probecard bildet ein Konzept zur optischen Abtastung von photonisch-integrierten Schaltkreisen, welches unempfindlich gegenüber Ausrichttoleranzen des Wafer-Probers funktioniert. Die opto-elektronische Prüfkarte kann dadurch mit handelsüblichen Wafer-Probern verwendet werden und sichert einen entsprechend hohen Durchsatz beim Testen von photonisch-integrierten Schaltkreisen

Die Welt beschleunigen

Mit Photonisch Integrierten Schaltkreisen (PICs) wird Optik zum Schlüssel für schnelle Datenkommunikation. Die UFO Probe® Card für PIC Wafer-Level-Tests setzt dabei neue Standards und verbindet das Heute mit dem Morgen.
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Neue Herausforderungen beim Wafer-Testing

PICs werden in verschiedensten Bauarten auf Wafern mit den klassischen Lithografieverfahren und mit vorhandenem Equipment der etablierten Halbleiterhersteller produziert. Die Herstellung der Wafer verläuft nahezu analog zu der von elektronischen Bauelementen.

Das Wafer-Testing stellt dabei eine ganz eigene Herausforderung dar. Aufgrund zusätzlich zu prüfender optischer Komponenten wurden bis jetzt noch nicht die Testdurchsatzratenaten wie bei etablierten IC-Funktionstests erreicht. Testlösungen für die optische Prüfung müssen aktuell zusätzlich angeschafft und integriert werden. Zudem ist für jeden Chip eine zeitaufwendige Neuausrichtung der optischen Schnittstellen des Testgerätes im Submikrometerbereich erforderlich.

Mit Jenoptik einen Schritt voraus

Die UFO Probe® Card erlaubt erstmals ein zeitgleiches Testen von elektronischen und optischen Funktionalitäten – also von ICs und PICs –mit nur einer Prüfkarte. Die Besonderheit dabei ist, dass beides auf bestehender Testinfrastruktur funktioniert. Zusätzlich benötigt die UFO Probe® Card von Jenoptik kein aktives Einrichten jedes einzelnen Chips. Damit reduziert sich der Zeitaufwand um ein Vielfaches.
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Fortschritt

Ermöglicht Ausbau des PIC-Ökosystem dank effizienter Testmethode für Serienfertigungen mit hohen Durchsatzraten; Minimierte Testzeit durch parallele Qualifizierung mehrerer Chips.

Innovation

Einzige kommerzielle Testlösung für hochvolumige Produktion, die auf Standard-Testausrüstung betrieben werden kann.

Qualität

Identifikation von Ausschuss in frühen Fertigungsstadium für eine verbesserte Ausbeute: Ermöglicht einen hundertprozentigen Test aller PICs auf einem Wafer.

Plug and Play

Für den Betrieb in Standard-IC-Prüfgeräten und automatisierten Testern ausgelegt. Geringer Investitions- und Inbetriebnahmeaufwand.

Effizienz

Frühzeitige Identifikation von Schlechtteilen für eine erhöhte Ausbeute und optimierten Fertigungsfluss.

Flexibilität

Frei konfigurierbarer Pitch und Anzahl von optischen I/O-Kanälen.

Probecard-Anwendungen von heute und morgen

Die derzeitige UFO Probe® Technologie ist speziell für Wafer- -Tests von photonisch integrierten Schaltkreisen (PICs) insbesondere für optische Transceiver ausgelegt. Weitere Anwendungsgebiete sind: LEDs/ MicroLEDs, VCSEL, Photodioden, MEMS-Spiegel und PCM-Strukturen.

Einfache Integration in vorhandene Test-Infrastruktur

Details Ufo Probe card

Detailaufnahme einer eingebauten Probe card

Die UFO Probe® Card ist für einen Betrieb auf Standard IC Probers und/oder automatisierten Testausrüstung ausgelegt. Jenoptik bietet somit eine Plug & Play-Lösung für PIC Wafer Level Tests. Je nach Bedarf, können Standardschnittstellen zu Wafer-Probern einfach in das Layout/Design der Probe Card implementiert werden – zum Beispiel im Europakartenformat. Die Handhabung der UFO Probe® Card ist analog zu elektrischen Testkarten, somit sind keine umfangreichen zusätzlichen Schulungsmaßnahmen für bestehendes Personal notwendig.

UFO Probe® Card erlaubt das parallele Testen von ICs und PICs

Funktion der UFO Probe®Card: parallele Testen von ICs und PICs
  • Monolithisches optisches Modul
  • Ausrichtungsunempfindliche optische Kopplung für vertikal emittierende PICs
  • Gleichzeitige optische und elektrische Abtastung
  • Verwendung bewährter Nadeltechnologie (Partnerschaft mit Prüfkartenherstellern)
  • Standardschnittstelle zu Wafer-Prober implementrierbar: z.B. Europakartenformat

Technische Details der opto-elektronischen UFO Probe®Card

Spezifikationen

Aktuelle Generation

Nächste Generationen

Zu prüfendes Bauteil
(Device under test / DUT)

Elektronische und photonische integrierte Schaltung (EPIC); Optische Transceiver für Datenübertragungs- und Telekommunikationsanwendungen

EPIC für Transceiver, Photodioden,
Biosensoren und Solid State LIDAR

Elektrische Nadeltechnologie

Cantilever

Cantilever, Vertical / Advanced

Optisches Kopplungsprinzip DUT

Vertikale Kopplung

Vertikale Kopplung

Anzahl der optischen Eingänge/ Ausgänge (OI/OO)

Bis zu 16

<200

Pitch OI/OO

250µm

flexibel

Layout Konfiguration von OI/OO -Arrays

Lineare Anordnung mit gleicher Richtung der Ein-/Ausgängen

Frei konfigurierbar

Kopplungswinkel

0° und 11.6°

0° - 20°

Unterstützte Wellenlänge

1310nm und 1550nm

VIS bis NIR (U-Band)

Messung der Einfügedämpfung

Wiederholgenauigkeit: ~ 0.3 - 0.5dB

Wiederholgenauigkeit Ziel: 0.1dB

RF-Messung

Bis zu 100MHz

GHz

Schnittstellen

Europakartenformat

Europakartenformat,
ATE Schnittstelle

Die UFO Probe® Card im Europakartenformat

Für einen Rund-um-Blick auf die neuartige Prüfkarte von Jenoptik finden Sie hier das Video. Entdecken Sie die einzigartige Technologie-Plattform, die sich auch für andere Anwendungsgebiete anpassen lässt.

Video

Moderne Welt braucht optische Datenkommunikation und Lösungen für eine effiziente Fertigung

  • Die vernetzte Welt

    ... generiert Unmengen von Daten und mit stetig wachsender Geschwindigkeit verarbeitet werden müssen.

  • Silicon Photonics (SiPh) Chips

    ... sind Hauptkomponenten für eine neue Generation von Hochleistungstranceivern.

  • Transreceiver

    ... wandeln Daten von elektrischen in optische Signale um und umgekehrt.

  • Optische Kommunikation

    ... unterstützt Datenzentren dabei, steigende Datenraten und hohes Datenaufkommen umsetzen zu können.

  • Neuartige Testlösungen

    ..., die kompatibel zur ihrer bestehenden Infrastruktur sind, helfen Halbleiterherstellern und Testhäusern dabei, den nächsten Schritt bei der Integration von photonischen Technologien zu gehen und im High-Volume-Bereich auszubauen.

  • Die UFO Probe® Card

    ... vereint optische und elektronische Funktionsprüfung in einer Prüfkarte. Sie ist Plug & Play Lösung leicht in bestehende Waferprober zu integrieren.

Ausführliche Produktinformationen

Nur einen Klick von mehr Produktdetails entfernt

Sie wollen noch mehr zur ultra-fast optoelektronischen UFO Probe® Card erfahren? Sie interessieren Details zur Technologie, zu Märkten und zu Anwendungen?
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Enrico Piechotka

Global Product Group Manager

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