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UFO Probe® Card – neuartige Prüfkarte für PIC-Wafer-Tests
Photonisch integrierte Schaltkreise (PICs) sind die Chips der Zukunft. Für die Daten- bzw. Signalverarbeitung nutzt die integrierte Photonik Licht anstelle von Elektrizität zur Datenübertragung und -verarbeitung.
Die Welt beschleunigen
Mit der UFO Probe®-Technologie sind Sie immer einen Schritt voraus
Leicht zu integrierene Lösung - gemacht für die Großserienproduktion
Neue Jenoptik UFO-Probe® Vertikal
Die konsequente Weiterentwicklung der patentierten Technologie erweitert die Möglichkeiten der optischen Kopplung und ermöglicht mit der neuen UFO Probe® Vertical-Version parallele Funktionstests von optischen wie elektrischen Komponenten auf Chips mit vertikaler Nadeltechnik etablierter Testkartenhersteller. Damit kann der Anwender standardmäßig bis zu 32 optische Kanäle parallel koppeln - bei Bedarf auch mehr - ohne aktive Ausrichtung.
- deckt den gesamten Wellenlängenbereich von 1260 bis 1625 Nanometer ab, der in der Telekommunikations- und Datenkommunikationsbranche verwendet wird
- Ermöglicht Polarisationserhalt für einzelne oder alle optischen Kanäle
- Kontaktierung von bis zu 6000 Bondpads/ von Bondpads mit Abmessungen bis zu 35 Mikrometern (je nach Nadeltyp auch mehr)
- Auch so genannte ""solder bumps"" und ""copper pillars"" möglich
- Kleinster adressierbarer Pitch der elektrischen Kontakte im Bereich von 40 bis 80 µm
- Kleinerer und gleichmäßigerer Kontaktwiderstand im Bereich von 0,2 bis 1,0 Ohm (je nach Probemark)"
UFO Probe® Vertical
Fortschritt
Ermöglicht Ausbau des PIC-Ökosystem dank effizienter Testmethode für Serienfertigungen mit hohen Durchsatzraten; Minimierte Testzeit durch parallele Qualifizierung mehrerer Chips.
Innovation
Einzige kommerzielle Testlösung für hochvolumige Produktion, die auf Standard-Testausrüstung betrieben werden kann.
Qualität
Identifikation von Ausschuss in frühen Fertigungsstadium für eine verbesserte Ausbeute: Ermöglicht einen hundertprozentigen Test aller PICs auf einem Wafer.
Plug and Play
Für den Betrieb in Standard-IC-Prüfgeräten und automatisierten Testern ausgelegt. Geringer Investitions- und Inbetriebnahmeaufwand.
Effizienz
Frühzeitige Identifikation von Schlechtteilen für eine erhöhte Ausbeute und optimierten Fertigungsfluss.
Flexibilität
Frei konfigurierbarer Pitch und Anzahl von optischen I/O-Kanälen.
Ermöglichung optischer Datenkommunikation
Probecard-Anwendungen von heute und morgen
Einfache Integration in vorhandene Testinfrastruktur
Detailaufnahme einer eingebauten UFO Probe® Card
Kombination aus neuartigem optischen Konzept und bewährter Nadeltechnologie
- Monolithisches optisches Modul
- Aurichtungsunempfindliche optische Kopplung für vertikal emittierende PICs
- Gleichzeitige optische und elektrische Abtastung
- Optisches Konzept gleicht Prober-Ausrichtungstoleranzen aus
- Verwendung bewährter Nadeltechnologie (Partnerschaft mit Testkartenherstellern)
- Standardschnittstelle zum Wafer-Sampler kann implementiert werden
Technische Details der opto-elektronischen UFO Probe® Card
| Spezifikationen | Aktuelle Generation | Nächste Generationen |
|---|---|---|
Zu prüfendes Bauteil | Elektronische und photonische integrierte Schaltung (EPIC); Optische Transceiver für Datenübertragungs- und Telekommunikationsanwendungen | EPIC für Transceiver, Photodioden, |
Elektrische Nadeltechnologie | Cantilever und Vertical | Cantilever, Vertical / Advanced |
Optisches Kopplungsprinzip DUT | Vertikale Kopplung | Vertikale Kopplung |
Anzahl der optischen Eingänge/ Ausgänge (OI/OO) | Bis zu 32 oder mehr | <200 |
Pitch OI/OO | 127µm, 250µm, flexibel für >250µm | flexibel |
Layout Konfiguration von OI/OO -Arrays | Lineare Anordnung mit gleicher Richtung der Ein-/Ausgängen | Frei konfigurierbar |
Kopplungswinkel | 0° und 11.6° Standard, bis zu 20° nach Kundenwunsch | 0° - 20° |
Unterstützte Wellenlänge | 1260 - 1625 nm (O/ L-band) | VIS bis NIR (U-Band) |
Messung der Einfügedämpfung | Wiederholgenauigkeit: ~ 0.3 - 0.5dB | Wiederholgenauigkeit Ziel: 0.1dB |
RF-Messung | Bis zu 110 GHz, je nach Nadeltechnologie | GHz |
Schnittstellen | Europakartenformat; ATE* | Europakartenformat, |
*currently without automatic optical docking
Detaillierte Produktinformationen
Ausgezeichnet! Innovationspreis Thüringen 2022 für UFO Probe® Card
Jenoptik wurde am 30. November 2022 in Weimar, Thüringen für die neuartige opto-elektronische Prüfkarte zum Testen von PIC-Wafern mit dem Innovationspreis Thüringen 2022 in der Kategorie "Industrie & Material" ausgezeichnet. Nicht ganz 100 Bewerbungen sind in diesem Jahr beim STIFT Thüringen eingegangen. Jenoptik überzeugte die Fachjury mit seinem durchdachten Lösungsansatz für den steigenden Bedarf an photonischen Technologien in der Elektronik- und Halbleiterindustrie.
