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Kundenspezifische UV-Objektive für Inspektionsverfahren in der Halbleiterindustrie

Die UV-Objektive von Jenoptik entsprechen höchsten Anforderungen und gelten als leistungsbestimmend für optische Prozesskontrollanlagen in der Halbleiterindustrie.

Jenoptik bietet maßgefertigte UV-Objektive und Baugruppen sowie individuelle Optikmodule zur Qualitätssicherung. Diese werden erfolgreich in Prozesskontrollanlagen für die Halbleiterindustrie eingesetzt und gelten hier als leistungsbestimmend.

Unsere hochgenauen Produktions- und Systemprüfverfahren garantieren höchste Abbildungsgüte und damit zum Beispiel hohen Wafer-Durchsatz für den Anwender. Die UV-Objektive und Optikmodule lassen sich für die neuesten Entwicklungen der Laserquellen einsetzen. Sie decken den gesamten DUV-Wellenlängenbereich ab mit Schwerpunkt auf 193 nm und 266nm. Polarisations- und Wellenfrontfehler liegen bei diesen Wellenlängen (DUV) beim technologisch Machbaren.

Jenoptik bietet Ihnen die gesamte Prozesskette – von der Planung der UV-Objektive bis hin zur Serienfertigung. Wir entwickeln die Inspektionsobjektive gemäß Ihren spezifischen Anforderungen. Darüber hinaus realisieren wir Machbarkeitsstudien. Gemeinsam mit Ihnen stimmen wir die Leistungsbeschreibung ab, bis Sie exakt zu Ihrer Anwendung passt. Bei der Produktion stellen unsere Experten die Systeme mithilfe hochgenauer Prüfmethoden auf die Zielspezifikation ein. Danach setzten wir die UV-Objektive thermischem und mechanischem Stress aus, um die Umweltstabilität bezüglich Lagerung, Transport und Einbau nachzuweisen. Sobald Sie unser Produkt überzeugt hat, fertigen wir die UV-Objektive natürlich auch in Serie.


Vorteile

  • Kundenspezifisch: UV-Objektive optimal auf Ihre Anforderungen angepasst.
  • Validierung: In Einbaulage und unter Umwelt- und Applikationsbedingungen.
  • Höchste Abbildungsgüte: Wellenfrontfehler < 0.035 λ bei DUV-Wellenlängen und Polarisations-Extinktionsverhältnis (PER) bis 1:1.000.
  • Leistungsbestimmend: Bereits erfolgreich in optischen Prozesskontrollsystemen im Einsatz.
  • Erfahrung: Seit mehr als 25 Jahren Partner der Halbleiter-Zulieferindustrie.
  • Hohe Lebensdauer: kontaminationsarme Fassungs- und Beschichtungstechnologie.



Anwendungsgebiete

  • Halbleiterindustrie: Wafer- und Masken-Inspektion.


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Optik & Optische Systeme

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