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Ultra-Fast Opto-elektronische Probecard - UFO Probe® Card

UFO Probe® für den Wafer-Level-Test von photonisch-integrierten Schaltkreisen (PICs)

UFO Probe Card von Jenoptik

Als Zulieferer und Partner der Halbleiterausrüstungsindustrie sowie von Anbietern für Halbleitertests auf Wafer-Level und deren Endanwendern, bietet Jenoptik mit der UFO Probe® Technologie eine neuartige optische Lösung zur Integration in elektrische Prüfkarten. Die ultra-fast opto-elektronische Probecard, oder auch kurz UFO Probe®, wird zum funktionalen Testen von Halbleiterschaltkreisen mit integrierter optischer Funktion verwendet. Insbesondere ist die Technologie dieser Probecard darauf ausgelegt, photonisch-integrierte Schaltkreise (PIC – photonic integrated circuits) von optischen Transceivern auf Waferebene zu testen.

Basis für die Jenoptik-Probecard bildet ein Konzept zur optischen Abtastung von photonisch-integrierten Schaltkreisen, welches unempfindlich gegenüber Ausrichttoleranzen des Wafer-Probers funktioniert. Die opto-elektronische Prüfkarte kann dadurch mit handelsüblichen Wafer-Probern verwendet werden und sichert einen entsprechend hohen Durchsatz beim Testen von photonisch-integrierten Schaltkreisen.

Die hybride Probecard vereint elektrische und optische Prüfungen in einer Lösung. Dadurch können mehrere, beliebig angeordnete optische und elektrische Kanäle eines PIC oder sogar mehrere PICs parallel getestet und damit der Bedarf an opto-elektronischen Tests für hochvolumige Applikationen abgedeckt werden. Die Auslegung der Probecard ist auf die speziellen Kundenanforderungen wie beispielsweise individuelles PIC-Layout und spezifische Testanordnung anpassbar.

Vorteile für den Kunden

  • Nutzung der vorhandenen Testinfrastruktur, wie Standard-Waferprober und automatisches Testequipment durch Plug & Play-fähige Verwendung der UFO Probe Card®
  • Einfache Handhabung analog zu elektrischen Probecards
  • Standardschnittstelle zu Wafer-Prober implementrierbar: z.B. Europakartenformat
  • Monolithisch aufgebaute Probecard aus optischen und elektrische Prüfsonden
  • Kein aktives Alignment pro Einzelchip nötig
  • Paralleles Testen von mehreren Chip
  • Bedienung durch Operator von IC-Probern

Applikationen in der Halbleiterfertigung

  • Derzeitige UFO Probe® Technologie speziell für den Wafer-Level-Test von photonisch-integrierten Schaltkreisen ausgelegt – optische Transceiver
  • Weitere PIC-Applikationen: Bio-Sensoren, Solid-State LIDAR, optischer Switch, Quantencomputing
  • Standardisierung für Multi-Projekt-Wafer Runs und PCM-Strukturen möglich
  • Adaptierbar für zusätzliche Anwendungsgebiete im Wafer-Level-Test, wie LEDs/ MicroLEDs, VCSEL, Photodioden und MEMS-Spiegel

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Wafer-Level PIC Testing

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Enrico Piechotka

Global Product Group Manager

+49 3641 65-2441

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