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Dank patentierter Fassungstechnologie DUV-Optiken hochpräzise justieren

Jenoptik hat in einem geförderten Projekt der Thüringer Aufbaubank (TAB) eine spannungsarme Fassung für DUV-Optiken entwickelt. Diese hält optische Elemente ohne Klebstoffe zusammen.

DUV-Präzisionsoptiken
Mit der patentierten Fassungstechnologie für Optiken werden thermische Spannungen in optischen Systemen kompensiert. Das Verfahren wurde von Jenoptik speziell für DUV-Optiken mit hoher numerischer Apertur entwickelt. Dank des neuen Konzepts werden optische Elemente schnell, robust und exakt mit einer Genauigkeit kleiner zehn Nanometer justiert.

Es ist komplett klebstofffrei und nutzt eine stapelbare Technologie (stack-mounting). Dadurch werden spannungsinduzierte Doppelbrechungen reduziert und die Stabilität der optischen Komponenten erhöht – die Objektive behalten ihre Performance dabei auch unter anspruchsvollen Einsatzbedingungen.

Durch das neuen Konzept montieren Sie optische Elemente exakt: Sie können diese senkrecht zur optischen Achse mit einer Genauigkeit kleiner zehn Nanometer über einen Bereich von etwa 300 Mikrometer positionieren. Dadurch justieren Sie die optischen Elemente in DUV-optischen Systemen hochpräzise und sorgen für Lagesicherung.

Die von der Thüringer Aufbaubank in einem Projekt geförderte Technologie von Jenoptik wird für optische Werkstoffe wie Kalzium-Fluorid und Quarzglas anwendet und lässt sich für Materialien wie zum Beispiel Edelstahl, Aluminium und Bronze nutzen.

Universelles Wellenfront-Messsystem garantiert Qualität


Mit dem Wellenfront-Messsystem justieren und zertifizieren Sie das Gesamtsystem schnell und exakt. So sparen Sie Kosten und Zeit. Dafür kombiniert Jenoptik verschiedene Messprinzipien in einem Messsystem, die universell adaptiert werden können – das spart Entwicklungszeit und -kosten.



Vorteile

  • Patentiert: Speziell entwickelt für DUV-Optiken mit hoher numerischer Apertur.
  • Klebstofffrei: Stapelbasierte Technologie (stack-mounting) nutzen.
  • Leistungsstark: Kompensiert thermische Spannungen in optischen Systemen.
  • Hochpräzise: Optische Elemente mit einer Genauigkeit kleiner 10 Nanometer positionieren.
  • Reproduzierbar: Technologie für verschiedene optische Werkstoffe adaptieren.
  • Kostensparend: Gesamtsystem mit Wellenfront-Messsystem schnell justieren.

Anwendungsgebiete

  • Halbleiterausrüstung: Strahlführungs- und Beleuchtungssysteme.
  • Flat-Panel-Display-Industrie: Mikromaterialbearbeitung.

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